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中国国家电子超纯水标准 GB/T1146.1-1997

指标 EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

 电阻率MΩ.cm(25℃) 18以上(95%时间)不低于17 15(95%时间)不低于13
 硅≤µg/l 2 10
 >1µM微粒数≤个/ml 0.1 5
 细菌个数≤个/ml 0.01 0.1
 铜≤µg/l 0.2 1
 锌≤µg/l 0.2 1
 镍≤µg/l 0.1 1
 钠≤µg/l 0.5 2
 钾≤µg/l 0.5 2
 氯≤µg/l 1 1
 硝酸根≤µg/l 1 1
 磷酸根≤µg/l 1 1
 硫酸根≤µg/l 1 1
 总有机碳≤µg/l 20 100
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